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mems and microsystems,design, manufacture, and nanoscale engineering
Tai-Ran Hsu
(Autor)
·
Wiley
· Tapa Dura
mems and microsystems,design, manufacture, and nanoscale engineering - Hsu, Tai-Ran
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Reseña del libro "mems and microsystems,design, manufacture, and nanoscale engineering"
Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Berücksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.